Transistor de puissance

专利摘要:

公开号:WO1984002427A1
申请号:PCT/JP1983/000426
申请日:1983-12-05
公开日:1984-06-21
发明作者:Ikunori Takata
申请人:Mitsubishi Electric Corp；
IPC主号:H01L29-00

专利说明:
[0001] 明 細细 発 明 の名称
[0002] 電力用 ト ラ ン ジ ス タ
[0003] 技術分野
[0004] こ の 発 明 は 、 ダー リ ン ト ン 接続の 前段 ト ラ ン ジ ス タ と 後段 ト ラ ン ジ ス タ の 接続部分 に 寄生 ト ラ ン ジ ス タ を 生 じ な い構造 の 電力用 ト ラ ン ジ ス タ に 関 す る
[0005] 背景技術
[0006] 従来の チ ヨ ッ パ 回路ゃ ィ ン バ ー タ 回路 に 用 い ら れ る 電力用 ト ラ ン ジ ス タ は い わ ゆ る 「 dvZdt 電流」 に よ る 破壊現象が生 じ る 。
[0007] す な わ ち 、 従来の チ ヨ ッ パ 回 路は 、 第 1 図 に 示 す よ う に ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΒ 力 オ ン 一 オ フ 動作 を く り 返す と 、 負荷 L に 並列 に 接続 さ れ た ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ に 「 dvZdt 電流」 に よ る 破壊現象が生 じ る 。
[0008] こ の 「 dvZdt 電流」 に よ る 破壊現象 は 、 ト ラ ン . ジ ス タ ΤΓ A の コ レ ク タ と ェ ミ ッ タ 間 に 、 ト ラ ン ジ ス タ Tr B の オ ン 動作 に 伴 う 急激な 電源電圧力 印加 さ れ る と 、 こ の ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ に 大電流 が流れ て電力損失が大 き く な り 、 つ い に は ト ラ ン ジ ス タ
[0009] ΟΜΡΙ ΤΓΑ が破壊 さ れ る
[0010] 第 1 図 に示す ッ パ 回 路 に お い て 、 ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΒ 力∑ オ ン と な っ た と き 、 ト ラ ン ジ ス タ Tr A の コ レ ク タ と ェ ミ ッ タ 閭 の 電圧 VCE と 、 ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ 及び ダ イ ォ ー ド DAに 流れ る 電源電流 I TD は 第 2 図 に示す よ う に 変化す る 。
[0011] 第 2 図 に示す よ う に 、 電圧 VCE が立上が る と 同 時に 大 き な 電源電流 I TD が流れ る の で、 ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΒ の オ ン 一 オ フ 動作 に伴な つ て ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ 〖ま著 し く 発熟す る 。 '
[0012] そ し て 、 電源電圧 を さ ら に 上 昇 さ せ る と 、 電源 電流 I TD は 一層大き く な り 、 つ い に は ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ は 破壊 し て し ま う 。
[0013] なお、 第 2 図 に示す電圧 V_CE 及 び電流 ITD の 特 性は 、 ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ の ベ ー ス を 開放状態 と し た と き の 波形で あ る 。
[0014] つ ぎ に 、 従来の ダ ー リ ン ト ン 接続の ト ラ ン ジ ス タ 構成 は、 第 3 図 に示す よ う に 前段 ト ラ ン ジ ス タ Τ_{Γ Ι} と 後段 ト ラ ン ジ ス タ Τ Γ₂ に は通常そ れ ぞれべ 一 ス と ェ ッ タ 間 の抵抗 REBi お よ び REB₂が設 け ら れ る
[0015] O PI 第 4 図 は 第 3 図 に 示す ダー リ ン ト ン 接続の ト ラ ン ジ ス タ の 平面図 で、 第 5 図 は 第 4 図 に お け る 7 一 7 線 で切断 し た と き の 断面図 で あ る 。
[0016] 第 5 図 に示す よ う に 、 従来の ダ ー リ ン ト ン接続 の ト ラ ン ジ ス タ は 前段 ト.ラ ン ジ ス タ Τ_{Γ ι} と 後段 ト ラ ン ジ ス タ Tr₂ カ> ら な り 、 前段 ト ラ ン ジ ス タ Τ_{Γ ι} は ェ ミ ッ タ 層 （1) 、 ベ ー ス 層 （6) 、 コ レ ク タ 層 （5) 及 び ェ ミ ッ タ 電極 （³) を備 え て お り 、 ま た 後段 ト ラ ン ジ ス タ Tr₂ は ェ ミ ッ タ 層 （2) 、 前段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 層及 び コ レ ク タ 層 と そ れ ぞれ運続す る べ ー ス 層 （6) 、 コ レ ク タ 層 （5) を 備 え て い る 。
[0017] ま た 、 後段 ト ラ ン ジ ス タ Tr₂ は 前段 ト ラ ン ジ ス タ T r i と ダー リ ン ト ン 接続す る た め に 、 第 3 図 に 示す よ う に 前段 ト ラ ン ジ ス タ Τ_{Γ ι} の.ェ ミ ッ タ 電極 (3) は 後段 ト ラ ン ジ ス タ Tr₂ の ベ ー ス 電極 （ と 電気 的 に接 ^ さ れ て い る 。
[0018] そ し て ま た 、 第 3 図 に 示す よ う に 前段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス と ェ ミ ッ タ 間 の 抵抗 REB は 適当 な 値 に な る よ う に す る た め 、 第 5 図 に 示す よ う に 前段 ト ラ ン ジ ス タ Τ_Γι の エ ミ ッ タ 層 （1) を 後段 ト ラ ン ジ ス タ Τ の 側へ長 く 伸 ば す に よ っ て 前段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 層 （e) の抵抗 を W く し て し か し 、 の よ う な構成の ダー リ ン 卜 ン接続の ト ラ ン ジ ス タ は 、 実際上、 今回 問題 と し て い る い わ ゆ る dvZd t 電流 の 増大 を 招 く が あ っ た
[0019] 発明 の 開示
[0020] こ の 発明 に係 る 電力用 ト ラ ン ジ ス タ は、 従来の ダー リ ン ト ン 接続の ト ラ ン ジ ス タ に お い て いわ ゆ る d v d t 電流 が増大す る 原因 の 追求 に 始 ま り 、 こ の d v/d t 電流が増大す る の は ダ ー リ ン ト ン接続の 第 1 段 目 の ト ラ ン ジ ス タ と 第 2 段 目 の ト ラ ン ジ ス タ を 電気的 に 接続す る 構成 に お い て そ の接続す る 領域 に寄生 ト ラ ン ジ ス タ カ 実質的 に形成 さ れ る こ と に起 因す る を 見出 し た も の で 、 の発明 は ダー リ ン ト ン接続の ト ラ ン ジ ス タ に お い て第 1 段 目 と 第. 2 段 目 の ト ラ ン ジ ス タ の接続す る 領域 に 実 質的 に寄生 ト ラ ン ジ ス タ カ '形成 さ れ な い よ う に し た も の で 、 れ に よ り 破壊耐量の大 き な電力用 ト
[0021] ン ジ ス タ を 実現 し 得 る も の で あ る
[0022] 図 面の簡単な 説明
[0023] 第 1 図 は 従来の チ ヨ ッ パ 回路 を 示す基本構成 図
[0024] OMPI
[0025] 乂 WIPO 第 2 図 は第 1 図 に示す ッ パ 回路 を 構成 τる ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ の.電圧 VCE と ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ 及 びダ イ ォ ー ド DA を流れ る 電流. I TD の 波形図 、 第 3 図 は 従来の ダー リ ン ト ン接続の ト ラ ン ジ ス タ の 回 路図 、 第 4 図 は 従来の ダ ー リ ン ト ン 接続の ト ン ジ ス タ の 平面図 、 第 5 図 は 第 4 図 に お け る f 線 で切断 し た と き の 断面図 、 第 6 図 は こ の 発明 を 説 明 す る た め に チ ヨ ッ ノ、。 回路 に お け る ト ラ ン ジ ス タ
[0026] Tr A の ベ ー ス に逆 バ イ ァ ス を 印加 し た と き の 電圧 電流待性図 、 第 7 図 は こ の 発.明 を 説明 す る た め に チ ヨ ッ ノ、。 回路 に お け る ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ を 取外 し た と き の 電圧電流特性図 、 第 8 図 は こ の発明 を 説 明 す る た め に ダ ー リ ン ト ン 接続の ト ラ ン ジ ス タ を チ ヨ ツ バ 回路に適用 し た と き の 電圧電流特性 図 、 第 ⁹ 図 は 寄生 ト ラ ン ジ ス タ を 考慮 し た ダ ー リ ン ト ン 接続の ト ラ ン ジ ス タ の 等価 回路図 、 第 10図 は こ の発明 の よ り 具体的 な 実施例 を 示す平面図 、 第 11 図 は 第 10図 に お け る XI— XI 線で接断 し た と き の 断面 図 、 第 12図 は こ の 発明 に お け る よ り 具体的 な 他 の 実施例 を 示す断面図 で あ る 。
[0027] 発明 を 実施す る た め の 最良 の形態
[0028] OMPI WIPO ま ず、 の発明 を 説明 す る 前 に d v d t 電流 に関 し て説 明 す る 。
[0029] 第 6 図 は チ ヨ ッ パ 回路 にお い て ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ の ベ ー ス に 逆 ノ イ ァ ス を 印カロ し た と き の ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ の コ レ ク タ ノ エ ミ ッ タ 閭電圧 VCE 、 ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ を 流れ る 電源電流 ITD の特性図 で あ り 、 第 7 図 は ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ を 取 り 外 し て負荷
[0030] L に並列 に フ ラ イ ホ イ ル ダ イ ォ ー ド DAの み を 接続 し た と き の電圧電流特性図 で あ る 。
[0031] こ こ に 、 第— 6 図 と 第 7—図 と を 比較す る と 、 両者 と も そ の 特性力 S' よ く 一致 し て お り 、 し た がっ て ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ の ベ ー ス に逆 ノヾ ィ ァ ス を 印加 し て い る と き に は ト ラ ン ジ ス タ ΤΓΑ は本質的 に動作 し て い な い と み ら れ る ろ 、 第 7 図 と 第 3 図 と を 比較す る と そ の 特性上 に は大 き な違い 力 あ る の差カ い わ ゆ る dvZdt 電流 で あ り 、 の電流 は ト ラ ン ジ ス タ ΤΓ A の ベ ー ス · エ ミ ッ タ 閭 に 逆ノヾ ィ ァ ス を 印加 し て も 大 き く 変わ る カ 、 ト ラ ン ジ ス タ の 造に も 依存す る も の と 考 え ら れ る
[0032] か力 > る 点 に鑑み、 こ の発明 は 大電力用 ト ラ ン ジ ス タ に お い て 、 ダ ー リ ン ト ン 接続 の ト ラ ン ジ ス タ
[0033] C PI に つ い て考察 し た も の で あ る 。
[0034] そ こ で 、 ダー リ ン ト ン接続の ト ラ ン ジ ス タ を 従 来技術の 説 明 で示 し た第 1 図 の チ ヨ ツ バ 回路 に 適 用 し 、 ス ピ ー ド ア ッ プ ダ イ オ ー ド Ds を付加 し て ダ 一 リ ン ト ン 接続 の ト ラ ン ジ ス タ の コ レ ク タ と エ ミ ッ タ 間 電圧 VC£ と 、 電源電流 ITD と を ベ ー ス 開放 状態の も と で 測定 し て 第 8 図 に 示す よ う な 電圧 — 電流 の 特性図 を 得た。
[0035] こ こ に 、 第 8 図 に 示す よ う に ベ ー ス 開放状態 に おい て 電流 ITD が余 り 増大 し な い場合で も 、 ベ ー ス · エ ミ ッ タ 間 に逆 バ イ ア ス を 少 し 印加す る と 電 流 I TD はベ ー ス 開放状態 の 場合 に 比 し て 増大 し 、 さ ら に ベ ー ス · エ ミ ッ タ 間 に逆 ノ、' ィ ァ ス を 大 き く し て い く と 、 再 び電流 ITD は 減少 す る と い う 現象 力 見 ら れ る 。
[0036] こ れ は 、 ベ ー ス ' ェ ミ ッ タ 間 に 逆 バ イ ア ス を 少 し 印加す る と 、 こ の逆 ノ イ ァ ス に よ る 通電領域 の し ぼ り 込み 作用 に よ っ て 通電領域 の 電流密度が増 大す る も の と 考 え ら れ る 。
[0037] こ の よ う な現象 は 前段 ト ラ ン ジ ス タ と 後段 ト ラ ン ジ ス タ と の 間 に 形成 さ れ る 寄生 ト ラ ン ジ ス タ に
[0038] O PI δ よ る も の と 考え る こ と 力 で き る
[0039] の よ う に 、 の発明 の発明者は幾多の実験、 解析 に基づ き ダ ー リ ン ト ン接続の ト ラ ン ジ ス タ に おい て い わ ゆ る d v/d t 電流が増大す る 原因 は上記 の 如 く 寄生 ト ラ ン ジ ス タ カ 形成 さ れ る こ と に よ る こ と を 見出 し た の で あ る 。 し 力 > し て 、 従来の ダ ー リ ン ト ン接続の ト ラ ン ジ ス タ 搆造 を 示す第 5 図 にお い て 、 かか る 寄生 ト ン ジ ス タ Tr₃ を 図示す る と と も に の寄生 ト ン ジ ス タ Tr₃ を 考慮 し て第 9 図 に示す よ う な 等価 回路図 を 得 る こ と が で き る 。 こ の よ う な ダ ー リ ン ト ン 接続 の ト ラ ン ジ ス タ に お い て、 そ の べ 一 ス ' ェ ミ ッ タ 間 に逆バ イ ア ス を 印加す る と 、 寄生 ト ラ ン ジ ス タ Tr₃ の ベ ー ス ' ェ ミ ッ タ 間 に お け る 逆 ノマ イ ァ ス VEB(Tr₃) は 次式の よ う に表わ さ れ、 小 さ な値 と な る 。
[0040] V₂
[0041] VEB(Tr₃) = VF (Ds ) x
[0042] Γι + r₂
[0043] こ こ に 、 VF (Ds：)は ダ イ ォ ー ド Dsの両端 間 の 電圧 ま た Π， r₂ は そ れぞ れ第 5 図 に示す よ う な 層 閭抵抗 で あ る 。 こ の た め 、 寄生 ト ラ ン ジ ス タ Tr₃ に は そ の ベ ー ス · ェ ミ ッ タ 間 に は ほ と ん ど逆ノ ィ ァ ス は
[0044] ΟΜΡΙ カ か ら な い と 言 え る 。
[0045] 通常、 こ の寄生 ト ラ ン ジ ス タ T r₃ に は ェ ミ ッ タ 力 > ら コ レ ク タ に 流 れ る 電流 の ご く わ ず か し か流れ な い の で 、 あ ま り 問題で は な い 力 > も し れ な い o
[0046] し 力 > し な が ら 、 大電力用 ト ラ ン ジ ス タ に な る と か カゝ る 寄生 ト ラ ン ジ ス タ T r₃ の 形成 さ れ る 面積 は 大 き く な り 、 し 力 も d vZd t 電流：^後段 ト ラ ン ジ ス タ で 増幅 さ れ て 無視で き な い。
[0047] こ こ に 、 こ の発明 に 係 る 電 力 用 ト ラ ン ジ ス タ に お け る 構成 は 、 モ ノ リ シ ッ ク な ダ ー リ ン ト ン 接続 の ト ラ ン ジ ス タ に お い て 、 第 1 段 目 の ェ ミ ッ タ 層 と 第 2 段 目 の ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 層 と を 接続す る 領域 に 寄生 ト ラ ン ジ ス タ が形成 さ れ な い よ う に 構成す る も の で あ る
[0048] さ ら に 、 の 発明 を 詳細 に 説 明 す る た め に 第
[0049] 0 図 お よ び第 1 1 図 を 用 い る 。 第 1 0 図 は こ の 発 明 の,具体的 な 実施例 を示す平面図 、 第 図 は 第
[0050] 0 図 に お け る X I— X I 線で切断 し た と き の 断面図 で あ る
[0051] 図 に お け る 前段 ト ラ ン ジ ス タ T の べ 一 ス 層 （⁶) と 後段 ト ン ジ ス タ T r₂ の ベ ー ス 層 （⁷) と は 、 第 1 0 図 か ら も わ ；^ る よ う に 一部つ ら な つ て い る が、 こ れ ら ト ラ ン ジ ス タ Τ_Γι と Tr₂の連結部 に は 第
[0052] 1 0 図 お よ び第 1 1 図 に示 し た よ う に n⁺形領域（8) を形成す る 。
[0053] す な わ ち 、 上記実施例で は 上述の よ う な n+形領 域（⁸) を 形成す る こ と に よ っ て 、 上述の よ う な寄生 ト ラ ン ジ ス タ の 形成 を 阻止す る も の で あ る 。
[0054] 力 力 る 構成 に よ り 、 ラ ン ニ ン グ テ ス ト に お い て 逆バ イ ァ ス の安全動作領域 を 測定 し た 結果、 従来 の構成 の電力 用 ト ラ ン ジ ス タ で は寄生 ト ラ ン ジ ス タ が形成 さ れ て い る こ と に起 因 し て 破壤耐量 は
[0055] 600 V 程度で あ っ た カ 、 こ の 発明にお け る 上記実 施例で は寄生 ト ラ ン ジ ス タ の形成が阻止 し 得 る の で、 破壊耐量は 約 1000V 程度に ま で 向上す る こ と がで き た 。
[0056] さ て 、 上述の よ う な ダ ー リ ン ト ン 接続の 電力 用 ト ラ ン ジ ス タ は 、 第 3 図 に示す よ う に 前段 卜 ラ ン ジ ス タ T に 抵抗 REB を 接続す る 場合 に つ い て 説 明 し た カ 、 こ の抵 抗 REB は ト ラ ン ジ ス タ の コ レ ク タ · ェ ミ ッ タ 間 の静的な逆阻止電圧 BV_{CE 0} を コ レ ク タ 一 ベ ー ス 閭 の逆阻止電圧 BVCBO 程度 ま で高 め
[0057] OMPI る 働 き カ あ る 。 ま た 、 コ レ ク タ 領域内 に電荷が残 留 し て い な い場合で も 発生す る d vZd t に よ る 変位 電流 を低減 さ せ る 働 き 力 あ る 。 し 力 し 、 こ れ ら の 機能が不必要で あ っ た り 、 ベ ー ス · エ ミ ッ タ 閭逆 パ イ ァ ス を 十分行 な う こ と に よ つ て カ ノ 一 で き る 場合 に は第 1 2 図 に 平面図 を示す こ の 発明 の 他 の 実施例 の よ う に 、 前段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 層 （⁶) と 後段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 層 （⁷) と の連結が拡散 層で は全 く 行な わ れ な い よ う な 構造で も 寄生 ト ラ ン ジ ス タ を 全 く 除去 で き る 。
[0058] ま た 、 以上 い ずれ も 前段 ト ラ ン ジ ス タ と 後段 ト ラ ン ジ ス タ と の 2 段構造の ダ ー リ ン ト ン ト ラ ン ジ ス タ に つ い て 説 明 し た が 、 も っ と 段数が増 え た 場 合の各段 に つ い て も の 発 明 を 適用 し て 有効で め る o
[0059] 産業上の 利用 可能性
[0060] こ の発 明 は 、 モ ー タ 駆動用 の イ ン バ ー タ 回路 や チ ヨ ツ バ 回路 に お い て オ ン 一 オ フ 動作 を繰 り 返す 通常 の パ ル ス 幅変調 ( PWM ) の動作 を 行な う 電力甩 ン ジ ス タ に 適用 す る が で き る
[0061] OMPI WIPO

权利要求:
Claims 請 求 の 範 囲
(1) ダー リ ン ト ン接続構造 を 有す る モ ノ リ シ ッ ク 電力用 ト ラ ン ジ ス タ に お い て 、 上記 ダ ー リ ン ト ン 接続 を構成す る 前段 卜 ラ ン ジ ス タ と 後段 ト ラ ン ジ ス タ と を 接続す る 領域 に寄生 ト ラ ン ジ ス タ が実質 的 に形成 さ れな い よ う に し た こ を 特徵 と す る 電 力 用 ト ラ ン ジ ス タ 。
(2) 前段 ト ラ ン ジ ス タ と 後段 ト ラ ン ジ ス タ と を 接 続す る ベ ー ス 拡散領域 内 に上記前段 ト ラ ン ジ ス タ の エ ミ ッ タ 領域 と は分離 さ れ て形成 さ れ上 記 べ 一 ス拡散領域 と は 異な る 伝導性 を 有す る 拡散領域 を 設け た こ と を 待徵 と す る 請求の 範囲第 1 項記載 の 電力用 ト ン ジ ス タ
(3) 前段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 拡散領域 と 後段 ト ラ ン ジ ス タ の ベ ー ス 拡散領域 と が半導体基体内 に 互い に つ な力 る こ と な く 独立 に 形成 さ れ た こ と を 特徴 と す る 請求の範囲第 1 項記載 の 電力用 ト ラ ン ジ ス タ 。
(4) 前段お よ び後段 ト ラ ン ジ ス タ が多段 ダー リ ン ト ン ^読 を 構成す る 互 い に 隣接す る 各 ト ラ ン ジ ス タ で あ る こ と を特徴 と す る 請求の 範囲第 1 項な い
OV.PI し 第 3 項の い ずれか に 記載 の 電力用 ト ラ ン ジ ス タ
OMPI

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公开号 | 公开日 | 专利标题

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US4827322A|1989-05-02|

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JPH05850B2|1993-01-06|

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DE3390378T0||

引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
1984-06-21| AK| Designated states|Designated state(s): DE US |

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1985-04-04| RET| De translation (de og part 6b)|Ref document number: 3390378 Country of ref document: DE Date of ref document: 19850404 |

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1985-04-04| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 3390378 Country of ref document: DE |

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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